Physik Journal, März 2016

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N E U E P R O D U K T E
88 Physik Journal 15 (2016) Nr. 3 © 2016 Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim
Neuartiges integriertes Messsystem für elektrische Transportmessungen
Anbieter: SPECS Surface Nano Analysis.
Angebot: Neuartige Messsystems „Na-
nonis Tramea“ für elektrische Trans-
portmessungen mit dem Schwerpunkt
der Charakterisierung von Quanten-
transportphänomenen. Das System
ersetzt individuell zusammengestellte
Messplätze, bestehend aus einer Vielzahl
von Spannungsquellen, Lock-In-Ver-
stärkern und Messgeräten, und vereinigt
sie in einem kompakten Design.
Merkmale: Seit 2007 wird das
„Nanonis“-Kontrollsystem im Bereich
der Rastersondenmikroskopie einge-
setzt. Mit der weltweit ersten volldigi-
talen Systemarchitektur und der intuitiv
bedienbaren grafischen Benutzerober-
fläche entstand damals ein neuer Stan-
dard. Die daraus gewonnenen Erfah-
rungen konnten nun auf ein völlig neues
Anwendungsfeld übertragen werden:
die elektrischen Transportmessungen
mit dem Schwerpunkt der Charakteri-
sierung von Quantentransportphäno-
menen.
Für den Versuchsaufbau stehen dabei
in der Grundkonfiguration je acht
analoge Ein- und analoge Ausgänge
mit paralleler Datenverarbeitung zur
Verfügung. Eine Erweiterung auf je-
weils 24 Kanäle ist möglich. Durch die
grafische Benutzeroberfläche und die
vollintegrierte Software ist die Bedie-
nung ohne weiteren Integrations- und
Programmieraufwand übersichtlich
und intuitiv. Fehler im Aufbau oder
der Bedienung können so einfach
erkannt und vermieden werden. Die
Signalqualität ist bezüglich Präzision,
Drift und Signal-zu-Rauschverhalten
unübertroffen und erlaubt höchstauf-
lösende Messungen, insbesondere auch
bei Tiefsttemperatur. Die Signalqualität
geht dabei nicht zu Lasten der Daten-
aufnahmegeschwindigkeit: Sie ist ca.
1000mal schneller als bei herkömm-
lichen Messplätzen und erlaubt somit
auch zeitaufgelöste Messungen an kri-
tischen Systemen.
n
SPECS Surface Nano Analysis GmbH
Voltastr. 5
13355 Berlin
Tel.: +49 (0)30 467824-0
Fax: +49 (0)30 4642083
E-Mail:
Website:
DPG-Tagung Regensburg, Foyer
Audimax, Stand 69
P R O D U K T D E S M O N AT S
EBL- und SEM-Hybridsystem
Hersteller: Raith.
Angebot: Kompaktes Hybridsystem
„PIONEER Two“, bestehend aus einem
professionellen Elektronenstrahl-Litho-
graphiesystem (EBL) und einem Rastere-
lektronenmikroskop (SEM), das sich für
die ultrahochauflösende Nanofabrikation
und SEM-Abbildungen sowie -Untersu-
chungen eignet. Es ergänzt das Angebot
an verschiedenen EBL-Systemen auf
Grundlage der thermischen Feldemission
(TFE) und schließt die konzeptionelle
Lücke zwischen einer Kombination aus
SEM und Lithographie-Upgrade-Elek-
tronik (pattern generator) und den auf
höheren Durchsatz ausgerichteten Wafer-
belichtungssystemen.
Merkmale: Mit dem kompakten Design
und sehr geringen Betriebskosten eignet
sich das System für alle akademischen
Einrichtungen, die eine bezahlbare Lö-
sung sowohl für die Nanofabrikation als
auch die Untersuchung von Nanostruk-
turen suchen. Es bietet sowohl deutlich
attraktivere Spezifikationen wie die Kom-
bination aus modernem SEM und Pat-
tern-Generator als auch eine weit höhere
Anwendungsspanne und übertrifft somit
die SEM-Kombinationslösungen bei wei-
tem. Die verwendete hochmoderne Elek-
tronenoptik erzeugt den kleinsten Strahl-
durchmesser (unter 1,6 nm) der Welt, der
in einem professionellen EBL-System ver-
fügbar ist. Damit lässt sich nicht nur Sub-
8-nm-Nanolithographie unkompliziert
durchführen, es sind mit verschiedenen
(teils optionalen) Detektoren auch SEM-
Abbildungen und -Untersuchungen im
Bereich von 1 nm möglich, sowohl in den
Materialwissenschaften als auch in den
Life Sciences. Zum System gehört ein ein-
zigartiger hochgenauer 2"-Laserinterfero-
metertisch für großflächige EBL-Struktu-
rierungen, der auch das kontinuierliche
Drehen (360°) und Kippen (Kippwinkel
0 – 90°) des gesamten Probenhalters für
SEM-Aufnahmen erlaubt.
n
Raith GmbH
Konrad-Adenauer-Allee 8
44263 Dortmund
Tel.: +49 (0)231 95004-0
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DPG-Tagung Regensburg, Foyer
Audimax, Stand 59