Physik Journal, März 2016

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N E U E P R O D U K T E
90 Physik Journal 15 (2016) Nr. 3 © 2016 Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim
Hochdynamischer Lineartisch für Scanning-Anwendungen
Hersteller: Physik Instrumente (PI).
Angebot: Ultrakompakter Lineartisch
„PIMag® Baureihe V-52x“ mit ma-
gnetischem Direktantrieb. Er erreicht
Höchstgeschwindigkeiten bis 250 mm/s
und Scanfrequenzen von einigen 10 Hz.
Der reibungsfreie Antrieb eignet sich
besonders für Anwendungen in Industrie
und Forschung, die einen 24/7-Betrieb
fordern, z. B. in Messtechnik, Photonik,
bei Bildstabilisierungssystemen sowie in
der Halbleiter- und Flachbildschirmin-
spektion.
Merkmale: Dank seiner Kreuzrollen-
führungen erreicht der Lineartisch
Ablaufgenauigkeiten von 1 µm. Die Käfig-
Zwangsführung verhindert dabei zuver-
lässig das Käfigwandern (Anti Creep).
Der Lineartisch wird über ein einzelnes
Kabel an den Controller angeschlossen,
über das Leistungs- und Encodersignal
weitergegeben werden. So wird die
einfach und platzsparende Integration
in Kundenanlagen gewährleistet. Der
integrierte, direkt messende, optische Li-
nearencoder ermöglicht eine zuverlässige
Positionsregelung und Wiederholgenau-
igkeit von ±500 nm. Die Sensorauflösung
liegt bei unter 10 nm, die kleinste Schritt-
weite beträgt 20 nm. Die Voice-Coil-
Baureihe bietet je nach Ausführung einen
Verfahrweg von 5, 10 oder 20 mm und
ist dabei nur 80 mm breit und 26 mm
hoch. Bei Bedarf lassen sich die Line-
artische ohne Zwischenplatten auch zu
Mehrachssystemen kombinieren. – Auf
Basis der „PIMag“-Standard-Lineartische
können auch kundenspezifische Ein- und
Mehrachslösungen angeboten werden,
die in Punkto Kraft, Genauigkeit und
Formfaktor genau an die Anwendung
angepasst sind.
n
Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
Auf der Römerstr. 1
76228 Karlsruhe
Tel.: +49 (0)721 4846-0
Fax: +49 (0)721 4846-1019
E-Mail:
Website:
DPG-Tagungen
Hannover, Lichthof, Stand 46
Regensburg, Foyer Audimax, Stand 75
Firmenportrait Mantis Deposition
Das britische Unternehmen Mantis
Deposition ist auf die Herstellung qua-
litativ hochwertiger Beschichtungsan-
lagen und -Komponenten spezialisiert.
Die Anlagen erfüllen die modernsten
Anforderungen aus Forschung und Ent-
wicklung. Über ein ausgedehntes Netz
an Repräsentanten sowie Supportbüros
in UK, USA, Deutschland und China ist
das Unternehmen weltweit präsent. Seit
Mai 2015 besteht eine enge Partnerschaft
mit der Firma SIGMA SURFACE SCI-
ENCE, einer auf Oberflächenanalytik
spezialisierten Firma mit Schwerpunkt
auf Entwicklung und Produktion von
UHV-SPM und ESCA-Lösungen. Dank
dieser Partnerschaft können auch Kom-
binationen aus Dünnfilmbeschichtungs-
techniken und oberflächenanalytischen
Methoden in einer gemeinsamen Lösung
angeboten werden.
Das Programm umfasst u. a. die
„QPREP-Series“, eine Plattform für
diverse Beschichtungstechniken wie
Magnetron-Sputtern, thermisches
Verdampfen, Elektronenstrahl- und
Nanopartikel-Beschichtungen. Auf-
grund des modularen Designs können
verschiedene Techniken kombiniert
werden. Bei der „M Series“ handelt
es sich um eine hochmodulare und
flexible MBE-Plattform mit externer
Ausheizmöglichkeit zur Erreichung
bester UHV-Vakuumbedingungen. Die
Funktionalität kann durch eine Vielzahl
an K-Zellen und RF-Atomstrahlquellen
für diverse Wachstums- und Doping-
Anwendungen erweitert werden. Das
„QUBE“ ist ein sehr kompaktes und uni-
verselles Beschichtungssystem mit frei
konfigurierbaren und austauschbaren
Port-Paneelen und großer Beladungstür.
Es ist die ideale Anlage in Kombination
mit Gloveboxen, geeignet für Forschung
und Prototyping. Die Systeme der
„NANOSYS-Series“ mit optimierter Ge-
ometrie eignen sich für Nanopartikelab-
scheidung in Kombination mit weiteren
PVD Beschichtungstechniken.
Weitere Produkte sind UHV-kompatible
Beschichtungsquellen wie Sputter-, Plas-
ma- und Ionenquellen, Effusionszellen,
thermische, organische und Elektronen-
strahlverdampfer sowie Gas-Cracker.
n
Mantis Deposition GmbH
Mombacher Straße 52
55122 Mainz
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